Infra-Rot Endpunktsystem für Cmp
EP1332515
Art A2
6. August 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1332515
- Aktenzeichen
- EP01981582
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 6. August 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/66H01L21/306H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
795
Patente gesamt
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14
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