Belichtungsgerät, Verfahren zur Steuerung dieses Geräts und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen

EP1333466 Art A3 9. November 2005

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, Hitachi, Ltd., ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1333466
Aktenzeichen
EP02258885
Anmeldetag
23. Dezember 2002
Veröffentlichung
9. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CANON KABUSHIKI KAISHA
Hitachi, Ltd.
ADVANTEST CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

10.659 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

16.329 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

610 Patente in unserer Datenbank

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