Verfahren zur Ätzung des Stapelkondensators einer FeRam Anordnung

EP1333471 Art A3 28. Juli 2004

Anmelder: Texas Instruments Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1333471
Aktenzeichen
EP03100194
Anmeldetag
30. Januar 2003
Veröffentlichung
28. Juli 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/8246H01L21/311H01L21/3213H01L21/02H01L27/115
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Texas Instruments Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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