Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren von Hableitersubstraten und wässrige Dispersion zum chemisch-mechanischen Polieren
EP1333476
Art A3
19. Oktober 2005
Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1333476
- Aktenzeichen
- EP03001656
- Anmeldetag
- 24. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321C09G1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JSR Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
1.781 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Böckelen, Rainer
München, Deutschland
191
Patente gesamt
28
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
TBK · München
-
TBK-Patent
TBK-Patent · München