Verwendung fluorierter Zusätzen in der Ätzung oder in dem Polieren von integrierten Schaltungen
EP1333477
Art A3
3. Januar 2007
Anmelder: Solvay Solexis S.p.A. 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1333477
- Aktenzeichen
- EP03001823
- Anmeldetag
- 29. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321H01L21/3213C09G1/02C11D1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Solvay Solexis S.p.A.
- Land
- 🇮🇹 Italien
🇮🇹
Solvay Solexis
Solvay Solexis war die italienische Fluorchemiesparte des belgischen Solvay-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Klebstoff- und Brennstofftechnik, ergänzt durch organische Chemie. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2011 und betreffen unter anderem PVDF-Beschichtungen.
298 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Sama, Daniele
Milano, Italien
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19
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6
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Schwerpunkte