Verfahren zur Herstellung eines aus halbleitendem Siliziumkarbid-auf-Isolator Substrates (SOI) und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

EP1333482 Art B1 25. Juni 2008

Anmelder: Osaka Prefecture University Public Corporation, OSAKA PREFECTURE, HOSIDEN CORPORATION, Osaka Prefecture, Hosiden Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1333482
Aktenzeichen
EP03250583
Anmeldetag
30. Januar 2003
Veröffentlichung
25. Juni 2008
Erteilung
25. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/20H01L21/205C23C16/02C23C16/32H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Osaka Prefecture University Public Corporation
OSAKA PREFECTURE
HOSIDEN CORPORATION
Osaka Prefecture
Hosiden Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hosiden

Hosiden ist ein japanischer Hersteller von elektronischen Steckverbindern, Sensoren und Wandlerkomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Nachrichtentechnik, ergänzt durch Software und Optik für Verbindungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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