Polierflüssigkeit und Verfahren zum Chemisch-Mechanischen Polieren von Kupfer

EP1334516 Art A2 13. August 2003

Anmelder: Intel Corporation, INTEL CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1334516
Aktenzeichen
EP01998091
Anmeldetag
29. Oktober 2001
Veröffentlichung
13. August 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Intel Corporation
INTEL CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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