Verfahren und Vorrichtung zur Erregung eines Plasmas

EP1334646 Art A2 13. August 2003

Anmelder: NKT Research A/S 🇩🇰

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1334646
Aktenzeichen
EP01980200
Anmeldetag
27. Oktober 2001
Veröffentlichung
13. August 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/46H05H1/34H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NKT Research A/S
Land
🇩🇰 Dänemark

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