Plasma cvd Vorrichtung

EP1335037 Art B1 27. Juli 2005

Anmelder: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD., Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1335037
Aktenzeichen: EP02019104
Anmeldetag: 29. August 2002
Veröffentlichung: 27. Juli 2005
Erteilung: 27. Juli 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/52C23C16/455C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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