Unterdrückung eines Defekts in einer Projektionsmaske
EP1336130
Art B1
17. März 2010
Anmelder: EUV Limited Liability Corporation, The Regents of The University of California 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1336130
- Aktenzeichen
- EP01966608
- Anmeldetag
- 5. September 2001
- Veröffentlichung
- 17. März 2010
- Erteilung
- 17. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G02B5/08G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EUV Limited Liability Corporation
The Regents of The University of California - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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Ebner von Eschenbach, Jennifer
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