Extraktion und Abbremsung von Niederenergiestrahlen mit Geringer Strahldivergenz
EP1336188
Art B1
4. August 2004
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc., K2 Keller Consulting, LLC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1336188
- Aktenzeichen
- EP01997829
- Anmeldetag
- 20. November 2001
- Veröffentlichung
- 4. August 2004
- Erteilung
- 4. August 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/30H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
K2 Keller Consulting, LLC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Beck, Simon Antony
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