Leitfähige Sonde für ein Abtastmikroskop und Bearbeitungsverfahren damit
EP1336835
Art A1
20. August 2003
Anmelder: Daiken Chemical Co., Ltd, SII NanoTechnology Inc., Nakayama, Yoshikazu, Seiko Instruments Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1336835
- Aktenzeichen
- EP01972624
- Anmeldetag
- 28. September 2001
- Veröffentlichung
- 20. August 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N13/12G12B21/04G12B21/02B82B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Daiken Chemical Co., Ltd
SII NanoTechnology Inc.
Nakayama, Yoshikazu
Seiko Instruments Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Seiko Instruments
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chiba, tätig in den Bereichen Präzisionsinstrumente, Uhren und elektronische Bauteile.
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Schickedanz, Willi
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