Oberflächig Mikrohergestellter Absolutdrucksensor und dessen Herstellungsverfahren

EP1337458 Art B1 29. Juni 2011

Anmelder: Teknologian Tutkimuskeskus VTT, Teknologian tutkimuskeskus VTT, Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus, VAISALA OYJ, VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1337458
Aktenzeichen
EP01982512
Anmeldetag
7. November 2001
Veröffentlichung
29. Juni 2011
Erteilung
29. Juni 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00B81C1/00G01L9/12G01L1/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Teknologian Tutkimuskeskus VTT
Teknologian tutkimuskeskus VTT
Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus
VAISALA OYJ
VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS
Land
🇫🇮 Finnland
🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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