Waferbearbeitungssystem mit einem Roboter
EP1338028
Art A1
27. August 2003
Anmelder: Wafermasters, Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1338028
- Aktenzeichen
- EP00982323
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 27. August 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Wafermasters, Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇺🇸 USA
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Freeman, Jacqueline Carol
London, Großbritannien
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