Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines metallischen Films

EP1338674 Art A1 27. August 2003

Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1338674
Aktenzeichen
EP03002047
Anmeldetag
29. Januar 2003
Veröffentlichung
27. August 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/14C23C16/448C23C16/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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