Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines metallischen Films
EP1338674
Art A1
27. August 2003
Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1338674
- Aktenzeichen
- EP03002047
- Anmeldetag
- 29. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 27. August 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/14C23C16/448C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Heavy Industries
Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Brown, Kenneth Richard
London, Großbritannien
983
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15
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-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München