Verfahren zur Herstellung eines Hohlkathoden-Sputtertargets und Sputtertarget-Bauteil umfassend selbiges

EP1339894 Art B1 23. April 2014

Anmelder: Global Advanced Metals, USA, Inc., CABOT CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1339894
Aktenzeichen
EP01985970
Anmeldetag
20. November 2001
Veröffentlichung
23. April 2014
Erteilung
23. April 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Global Advanced Metals, USA, Inc.
CABOT CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot

Cabot ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien, unter anderem Industrieruß und Silica-Produkten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Kunststoff- und Halbleitertechnik, ergänzt durch anorganische Chemie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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