Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung Elektrisch Isolierender Substrate

EP1339895 Art B1 10. Juni 2009

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Frauenhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1339895
Aktenzeichen: EP01992802
Anmeldetag: 30. Oktober 2001
Veröffentlichung: 10. Juni 2009
Erteilung: 10. Juni 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/509C23C16/54H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Frauenhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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