Systeme und Verfahren zur Belichtung der Substratperipherie
EP1340123
Art B1
19. Oktober 2011
Anmelder: ASML Holding N.V., ASML, Babikian, Dikran, Stark, Larry, Wade, Bryan 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1340123
- Aktenzeichen
- EP01993844
- Anmeldetag
- 8. November 2001
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2011
- Erteilung
- 19. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03B27/42G03B27/52G01N21/86G01B11/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
ASML
Babikian, Dikran
Stark, Larry
Wade, Bryan - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Roberts, Peter David
NoneManchester
-
Allman, Peter John
NoneManchester