Systeme und Verfahren zur Belichtung der Substratperipherie

EP1340123 Art B1 19. Oktober 2011

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML, Babikian, Dikran, Stark, Larry, Wade, Bryan 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1340123
Aktenzeichen
EP01993844
Anmeldetag
8. November 2001
Veröffentlichung
19. Oktober 2011
Erteilung
19. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03B27/42G03B27/52G01N21/86G01B11/14G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ASML Holding N.V.
ASML
Babikian, Dikran
Stark, Larry
Wade, Bryan
Land
🇳🇱 Niederlande

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Van den Hooven, Jan Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Elektrische Energietechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
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