Polymere mit Schutzgruppen, Photoresisten und Verfahren für die Mikrolithographie

EP1340125 Art A2 3. September 2003

Anmelder: E. I. du Pont de Nemours and Company, E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1340125
Aktenzeichen
EP01995250
Anmeldetag
26. November 2001
Veröffentlichung
3. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
E. I. du Pont de Nemours and Company
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 DuPont

US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.

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