Verfahren zur Ausbildung Dielektrischer Filme
EP1340247
Art B1
24. November 2010
Anmelder: Mattson Technology Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1340247
- Aktenzeichen
- EP01975332
- Anmeldetag
- 19. September 2001
- Veröffentlichung
- 24. November 2010
- Erteilung
- 24. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3105H01L21/314H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mattson Technology Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Kanzlei
Canzler & Bergmeier
Ingolstadt, Deutschland
Canzler & Bergmeier entstand aus der Patentabteilung eines Maschinenbauunternehmens und ist heute die größte Patentanwaltskanzlei der Region Ingolstadt. Technische Ausrichtung in Automobiltechnik, Maschinenbau, Halbleitertechnik, KI und Life Sciences für Start-ups bis Großunternehmen.
1.211
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Bergmeier, Werner, Dipl.-Ing
NoneIngolstadt