Synthethisches Quarzglas für ArF Ausrichtgeräte
EP1340722
Art A1
3. September 2003
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD., Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1340722
- Aktenzeichen
- EP03001490
- Anmeldetag
- 23. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 3. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03B19/14C03C3/06C03C4/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kühn, Hans-Christian
Hanau, Deutschland
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