Stauscheibe für einen kapazitiven Drucksensor
EP1340971
Art B1
2. Februar 2005
Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1340971
- Aktenzeichen
- EP03012375
- Anmeldetag
- 8. September 2000
- Veröffentlichung
- 2. Februar 2005
- Erteilung
- 2. Februar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L19/06G01L9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS INSTRUMENTS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Brown, Kenneth Richard
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