Kalibrationsverfahren, Kalibrationssubstrate, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung von Artikeln
EP1341046
Art A3
15. Dezember 2004
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1341046
- Aktenzeichen
- EP03251184
- Anmeldetag
- 27. Februar 2003
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
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