Kalibrationsverfahren, Kalibrationssubstrate, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung von Artikeln

EP1341046 Art A3 15. Dezember 2004

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1341046
Aktenzeichen
EP03251184
Anmeldetag
27. Februar 2003
Veröffentlichung
15. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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