Methode zur Identifizierung eines Halbleitenden Integrierten Schaltkreisbauelementes, dessen Herstellungsverfahren sowie Halbleitendes Schaltkreisbauelement und Halbleiterchip

EP1341214 Art A1 3. September 2003

Anmelder: Hitachi, Ltd., Hitachi ULSI Systems Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1341214
Aktenzeichen
EP01963464
Anmeldetag
6. September 2001
Veröffentlichung
3. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/66H01L27/04G01R31/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Hitachi, Ltd.
Hitachi ULSI Systems Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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