Abdichtelement und Substratspeicherbehälter mit dem Abdichtelement

EP1341226 Art B1 12. Juni 2013

Anmelder: Shin-Etsu Polymer Co. Ltd., SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1341226
Aktenzeichen: EP01999972
Anmeldetag: 7. Dezember 2001
Veröffentlichung: 12. Juni 2013
Erteilung: 12. Juni 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68B65D85/90F16J15/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land: 🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von

Felder, Peter Zürich, Schweiz

94

Patente gesamt

29

Fachgebiete

7

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Textiltechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Medizintechnik & Gesundheit Pharma & Biotechnologie

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