Verwendung eines Substrats auf Basis von Siliciumnitrid für die Herstellung von Halbleiter Bauelemente

EP1341737 Art B1 16. März 2011

Anmelder: H.C. Starck Ceramics GmbH & Co. KG, CFI Ceramics for Industry GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1341737
Aktenzeichen
EP01985334
Anmeldetag
22. November 2001
Veröffentlichung
16. März 2011
Erteilung
16. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C04B35/584C04B35/591
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
H.C. Starck Ceramics GmbH & Co. KG
CFI Ceramics for Industry GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe
Vertreten von
Peters, Frank M Leverkusen, Deutschland
58
Patente gesamt
12
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kunststoff- & Polymertechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie
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