Verfahren zur Reinigung von Ätzanlagenteilen

EP1341883 Art A1 10. September 2003

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC., Air Products and Chemicals, Inc., Ashland Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1341883
Aktenzeichen: EP01999625
Anmeldetag: 3. Dezember 2001
Veröffentlichung: 10. September 2003
Rechtsraum: EP
IPC: C11D1/835C11D3/04C11D7/08C11D7/26B08B3/04C23G5/036H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Air Products and Chemicals, Inc.
Ashland Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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