Verfahren zur Plasmaabscheidung Ionisierten Metalls mit Verbesserten Seitenwandbedeckung von Kontaktlöchern

EP1342263 Art A2 10. September 2003

Anmelder: NXP B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1342263
Aktenzeichen
EP01994718
Anmeldetag
22. November 2001
Veröffentlichung
10. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NXP B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 NXP Semiconductors

Niederländischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Eindhoven. Entwickelt Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation, Sicherheit sowie industrielle Anwendungen.

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