Flüssige Substratreinigungsmedien und Reinigunsverfahren

EP1342777 Art B9 17. Februar 2010

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation, MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1342777
Aktenzeichen
EP02025606
Anmeldetag
18. November 2002
Veröffentlichung
17. Februar 2010
Erteilung
17. Februar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C11D11/00C11D1/72C11D3/02C11D3/39H01L21/306C11D1/29C11D1/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Mitsubishi Chemical Corporation
MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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