Herstellungsverfahren für Dünne Filme aus Mischoxid, Anlage hierfür und damit Hergestellte Mischoxidfilme

EP1342820 Art A1 10. September 2003

Anmelder: Japan Science and Technology Agency, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1342820
Aktenzeichen: EP01958485
Anmeldetag: 24. August 2001
Veröffentlichung: 10. September 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L39/24C30B23/02C30B29/22C01G3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Japan Science and Technology Agency
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von