Temperaturbehandlungsmethode für Halbleiterscheiben und Temperaturbehandelte Halbleiterscheibe

EP1343200 Art A1 10. September 2003

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1343200
Aktenzeichen
EP01270902
Anmeldetag
11. Dezember 2001
Veröffentlichung
10. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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