Bauelement, Container und Verfahren zum Transferieren des Substrats
EP1343202
Art A1
10. September 2003
Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1343202
- Aktenzeichen
- EP01999971
- Anmeldetag
- 3. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 10. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Ebara Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
2.990
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Wagner, Karl H., Dipl.-Ing
NoneMünchen