Methode zur Korrektur von Naheffekten in einer Hybriden Gedämpften Phasenschiebermaske

EP1344107 Art B1 5. Mai 2010

Anmelder: Synopsys, Inc., Numerical Technologies Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1344107
Aktenzeichen: EP01990970
Anmeldetag: 30. November 2001
Veröffentlichung: 5. Mai 2010
Erteilung: 5. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Synopsys, Inc.
Numerical Technologies Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

483 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von