Substratmaterial für Diamantabscheidungsverfahren
EP1344841
Art A1
17. September 2003
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1344841
- Aktenzeichen
- EP03251429
- Anmeldetag
- 10. März 2003
- Veröffentlichung
- 17. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/02C23C16/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Vertreten von
Cooper, John
Glasgow, Großbritannien
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