Hochauflösende Lichtempfindliche Harzzusammensetzung für die I-Line Lithographie, Verfahren zur Erzeugung von Mustern
EP1345081
Art A1
17. September 2003
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant Finance (BVI) Limited, Clariant International Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1345081
- Aktenzeichen
- EP01270806
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 17. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/023H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant Finance (BVI) Limited
Clariant International Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
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Isenbruck, Günter
Mannheim, Deutschland
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