Verwaltung von Reaktionskräften in einem lithographischen System

EP1345083 Art B1 27. Juni 2007

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Holding, N.V., ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1345083
Aktenzeichen: EP03005312
Anmeldetag: 11. März 2003
Veröffentlichung: 27. Juni 2007
Erteilung: 27. Juni 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML Holding, N.V.
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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