Als Zyklon Ausgebildeter Kontaminations-Sammelkollektor für eine Ionenimplantierungsvorrichtung
EP1345701
Art A2
24. September 2003
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1345701
- Aktenzeichen
- EP01271647
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 24. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B04C3/00B01D45/02B01D45/16H01J37/32H01J49/24B04C5/103B04C5/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
453
Patente gesamt
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Fachgebiete
10
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Schwerpunkte