Korrosionsbeständiges Bauteil für Anlage zur Behandlung von Halbleitern und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP1345703
Art B1
3. Februar 2010
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1345703
- Aktenzeichen
- EP01270109
- Anmeldetag
- 21. November 2001
- Veröffentlichung
- 3. Februar 2010
- Erteilung
- 3. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B05D1/02C23C4/04C09K19/38H01J37/32C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kemp, Paul Geoffrey
Nice, Frankreich
168
Patente gesamt
30
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Brookes IP
Brookes IP · Tunbridge Wells
-
Brookes Batchellor LLP
Brookes Batchellor LLP · London