Verfahren zur Herstellung von Verstärkten Waferpolierkissen und Diese Verfahren Implementierende Vorrichtungen
EP1345733
Art B1
3. November 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1345733
- Aktenzeichen
- EP01995441
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 3. November 2004
- Erteilung
- 3. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24D11/00B24D18/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
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