Einrichtung zur Ellipsometrischen Zweidimensionalen Anzeige einer Probe, Anzeigeverfahren und Ellipsometrisches Messverfahren mit Räumlicher Auflösung
Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, Sorbonne Université, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS), UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1346201
- Aktenzeichen
- EP01989637
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 24. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/21
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
Sorbonne Université
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Die Sorbonne Université ist eine Pariser Universität, die aus dem Zusammenschluss der Universitäten Paris-Sorbonne und Pierre-et-Marie-Curie hervorging und in Natur-, Geistes- und Gesundheitswissenschaften forscht und lehrt.
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Fachgebiete
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Osha BWB
Osha BWB · Paris
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Jacquard, Philippe Jean-Luc
NoneParis
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Catherine, Alain
NoneParis