Einrichtung zur Ellipsometrischen Zweidimensionalen Anzeige einer Probe, Anzeigeverfahren und Ellipsometrisches Messverfahren mit Räumlicher Auflösung

EP1346201 Art A1 24. September 2003

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, Sorbonne Université, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS), UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1346201
Aktenzeichen
EP01989637
Anmeldetag
18. Dezember 2001
Veröffentlichung
24. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/21
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
Sorbonne Université
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Sorbonne Université

Die Sorbonne Université ist eine Pariser Universität, die aus dem Zusammenschluss der Universitäten Paris-Sorbonne und Pierre-et-Marie-Curie hervorging und in Natur-, Geistes- und Gesundheitswissenschaften forscht und lehrt.

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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