Zusammensetzung zur Entfernung von Photoresistrückständen
EP1347339
Art A1
24. September 2003
Anmelder: Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha, NEC Electronics Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1347339
- Aktenzeichen
- EP03006236
- Anmeldetag
- 20. März 2003
- Veröffentlichung
- 24. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha
NEC Electronics Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NEC
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.
19.509 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Vossius, Volker
München, Deutschland
276
Patente gesamt
25
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte