Druckwandler mit Thermischer Platte und Feder
EP1348111
Art B1
28. September 2005
Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1348111
- Aktenzeichen
- EP01988435
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 28. September 2005
- Erteilung
- 28. September 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS INSTRUMENTS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Brown, Kenneth Richard
London, Großbritannien
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