Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit einer Halbleiterschicht auf einem Substrat mit nicht-angepasstem Gitter
EP1349204
Art A3
2. Mai 2007
Anmelder: IMEC, Umicore S.A., INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1349204
- Aktenzeichen
- EP03447043
- Anmeldetag
- 28. Februar 2003
- Veröffentlichung
- 2. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20C30B23/02H01L21/762
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
Umicore S.A.
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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