Heizer mit Abdichtung aus Drahtheizelementobjekt aus Kohlenstoff und Vorrichtung zum Heizen einer Flüssigkeit die denselben Heizer benützt

EP1349429 Art A3 24. Oktober 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1349429
Aktenzeichen: EP03006287
Anmeldetag: 21. März 2003
Veröffentlichung: 24. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: H05B3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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