Mikromechanischer Flusssensor mit Tensiler Beschichtung

EP1350078 Art B1 14. Februar 2018

Anmelder: Sensirion Holding AG, Sensirion AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1350078
Aktenzeichen
EP01273164
Anmeldetag
20. Dezember 2001
Veröffentlichung
14. Februar 2018
Erteilung
14. Februar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G01F1/684G01F15/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sensirion Holding AG
Sensirion AG
Land
🇨🇭 Schweiz

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