Verfahren und Vorrichtung zur Effizienten und Genauen Filterung und Interpolation
EP1350321
Art B1
15. August 2007
Anmelder: ASML Holding N.V., ASML US, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1350321
- Aktenzeichen
- EP02703091
- Anmeldetag
- 11. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 15. August 2007
- Erteilung
- 15. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H03H17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
ASML US, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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