Verfahren und Vorrichtung zur Effizienten und Genauen Filterung und Interpolation

EP1350321 Art B1 15. August 2007

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML US, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1350321
Aktenzeichen
EP02703091
Anmeldetag
11. Januar 2002
Veröffentlichung
15. August 2007
Erteilung
15. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H03H17/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Holding N.V.
ASML US, Inc.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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