Methode zur Auswahl der Schichtdicken eines reflektierenden Elements für elektromagnetische Strahlung im extremen ultravioletten Bereich

EP1351258 Art B1 16. November 2005

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1351258
Aktenzeichen: EP03400006
Anmeldetag: 3. März 2003
Veröffentlichung: 16. November 2005
Erteilung: 16. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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