Elektronenstrahlbelichtungsverfahren

EP1351272 Art B1 1. März 2017

Anmelder: Hitachi, Ltd., CANON KABUSHIKI KAISHA, ADVANTEST CORPORATION, Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1351272
Aktenzeichen: EP02017787
Anmeldetag: 12. August 2002
Veröffentlichung: 1. März 2017
Erteilung: 1. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/304H01J37/317H01J37/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi, Ltd.
CANON KABUSHIKI KAISHA
ADVANTEST CORPORATION
Advantest Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

21.165 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.274 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

1.227 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von