Verfahren zur Verhinderung der Kontamination während der Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP1351282 Art A3 28. Juli 2004

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1351282
Aktenzeichen: EP03007306
Anmeldetag: 31. März 2003
Veröffentlichung: 28. Juli 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/20H01L21/205C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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