Schablone für die Mikro- und Nanodrucklithographie für Zimmertemperatur und Niedrigen Druck

EP1352295 Art B1 23. Dezember 2015

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1352295
Aktenzeichen
EP01273791
Anmeldetag
12. Oktober 2001
Veröffentlichung
23. Dezember 2015
Erteilung
23. Dezember 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F7/00G03F9/00B29C35/08B29C37/00B29C43/00G11B5/855B82Y10/00B82Y40/00B29C43/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Board of Regents, The University of Texas System
Land
🇺🇸 USA

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